製品情報
μWire (マイクロワイヤー）モデル5710イオナイザーは、イオン発生効率に優れたワイヤー電極と、独自に開発したマイクロパルス高電圧印加方式を採用し、高速除電、ローコスト オブ オーナーシップ、少ない逆帯電を他に類を見る事ができない高いレベルで実現。
静電気に敏感な最新FPD及びエレクトロニクスデバイス用バータイプイオナイザーです。
特長
・全面イオン発生による均一な除電。
近接設置用途にも好適
・電位スイングが小さく、
イオンバランス調整が非常に簡便
・数秒で完了できる超簡単電極クリーニング
・長尺バーでも1箇所のエアパージ接続で
ばらつきの無いエア供給を達成
・6ヶ月以上の長期クリーニング周期
イオン発生イメージ
用途
・フラットパネル製造工程、
フォトマスク製造工程、半導体後工程等、
各種エレクトロニクスや静電気に敏感なデバイスの除電用
仕様
| 入力電圧 | 24V DC +/- 10%. |
|---|---|
| 除電距離 | 50mm～1500mm程度 |
| イオン発生方式 | コロナ放電型 MicroPulse方式 |
| 対応パージガス | クリーンドライエア 及びN2 |
| イオンバランス | ＜ +/- 25v |
| 除電性能 | 1m距離にて6.5秒以下。0.25Mpaパージ。+/- 1kv→100Vの除電時間 |
| 電極 | タングステンワイヤー |
| パージガス量 | 最大0.63MPa,100mm長あたり最大16LPM |
| オゾン発生量 | ＜ 0.05 ppm |
| IO仕様 | アラームIO出力,高電圧停止入力 |
| 材質 | ABS樹脂、SUS |
| 寸法 |
高さ84mm x 奥行33mm x 長さ400～3000mm 長さ選択長：400, 500, 650, 750, 900, 1000, 1150, 1250, 1400, 1500, 1650, 1750, 1900, 2200, 2150, 2250, 2400, 2500, 2650, 2750, 2900, 3000 |
| 対応規格 | CE, RoHS |