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拡張ISO Class1,10nm対応 インラインN2イオナイザー モデル4214

機能別[インラインイオナイザー]  

モデル4214イオナイザーは、高純度N2環境下においても"拡張ISO Class1,10nm"の高クリーン度に対応し、かつ優れたイオンバランスを達成します。

 
特長
  • 超低パーティクル対応 単結晶シリコン電極を採用。
  • パーティクルを外部に放出しない独自のクリーン機構により長期間安定したクリーン度を確保
  • 調整が一切不要なインテリジェント制御回路採用
  • 内臓センサーによりイオン発生が常にモニタリングされ、確実な除電を達成
  • コントローラ・電源内蔵の一体型コンパクト設計
  • 低流量時は自動高電圧シャットオフ機能が製品を保護します
  • 先端半導体製造工程他 超低パーティクル用途に最適
  • 24V DC駆動
 
仕様
入力電圧 24V DC+/-5% 6W Typ.
イオンバランス <+/-25V 150mm 距離 40LPM 配管接続無し
除電時間 <10sec 150mm 距離 40LPM 配管接続無し
+/-1kv → +/- 100v 帯電プレートモニターによる
イオン発生方式 コロナ放電式 高周波AC方式
クリーン度 ISO Class1,0.1 micron"拡張ISO Class1,10nm"*
電極 単結晶シリコン 交換可能
対応パージガス N2 > 99.998%
流量 40LPM(36.5Kpa)~90LPM(171kpa)
最大パージ圧 207Kpa(=100LPM流量)
最大ガス温度 60deg C
N2パージ接続 Swagelok3/8" OD 配管
イオン化N2接続 1/4NPTメスネジコネクタ或いは オプションジョイント
28-25710-SCにてSwagelok1/2"OD配管接続
使用温度範囲 15~60deg C
信号出力 Open/Close接点にてアラーム及び、イオン低下出力
寸法 長さ152.4mm x 幅72.4mm x 奥行き32mm
配管部含まず
重量 640g
外装 ステンレススチール
取り付け方法 裏面 M5ネジ ネジ長が10mm未満であること

拡張ISO Class1,10nmについて
微小パーティクル管理に対応するためION Systemsにて独自に定めたクリーン度の定義です。ISO14644-1は最小粒径100nmにて定義されています。拡張ISO Class1,10nmとはISO14644-1と同じ許容パーティクル数の算出式を用いており、その許容パーティクル数は10nm以上の粒径にて1200pc/m3(34 pc/ft3)となります

 

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