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FPD及びエレクトロニクス用μWireBar モデル 5710 [DCタイプ]

機能別[スタティックバー]  

μWire (マイクロワイヤー)モデル5710イオナイザーは、イオン発生効率に優れたワイヤー電極と、独自に開発したマイクロパルス高電圧印加方式を採用し、高速除電・ローコスト オブ オーナーシップ・少ない逆帯電を他に類を見る事ができない高いレベルで実現。
静電気に敏感な最新FPD及びエレクトロニクスデバイス用バータイプイオナイザーです。

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特長
  • 全面イオン発生による均一な除電。近接設置用途にも好適
  • 電位スイングが小さく、イオンバランス調整が非常に簡便
  • 数秒で完了できる超簡単電極クリーニング
  • 長尺バーでも1箇所のエアパージ接続でばらつきの無いエア供給を達成
  • 6ヶ月以上の長期クリーニング周期


イオン発生イメージ
 
用途
  • フラットパネル製造工程、フォトマスク製造工程、半導体後工程等、
    各種エレクトロニクスや静電気に敏感なデバイスの除電用
 
仕様
入力電圧 24V DC +/- 10%.
除電距離 50mm~1500mm程度
イオン発生方式 コロナ放電型 MicroPulse方式
対応パージガス クリーンドライエア 及びN2
イオンバランス < +/- 25v
除電性能 1m距離にて6.5秒以下。0.25Mpaパージ。+/- 1kv→100Vの除電時間
電極 タングステンワイヤー
パージガス量 最大0.63MPa,100mm長あたり最大16LPM
オゾン発生量 < 0.05 ppm
IO仕様 アラームIO出力,高電圧停止入力
材質 ABS樹脂、SUS
寸法 高さ84mm x 奥行33mm x 長さ400~3000mm
長さ選択長:400, 500, 650, 750, 900, 1000, 1150, 1250, 1400, 1500, 1650, 1750, 1900, 2200, 2150, 2250, 2400, 2500, 2650, 2750, 2900, 3000
対応規格 CE, RoHS
 

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