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局所クリーン除電イオナイザーQuadBar モデル4635
機能別[スタティックバー]
モデル4635クアッドバーは、従来のモデル4630/4632に更なる磨きを掛け、除電性能と使い易さを向上させた高クリーンイオナイザーです。レチクル用等、限られたスペース及びエアフロー環境における除電に適します。
特長
- 独自のIsoStat方式によるイオンバランス自動調整を採用。調整作業は不要です 供給電源は24V DC及び24V ACに対応
- 単結晶シリコン電極の為、高クリーンかつ半導体デバイスにも安全
- 7.6cmの最小設置距離とコンパクトサイズが自在な設置レイアウトを実現
- 新設計のパージエア流路は長距離・高速除電化を実現
仕様
| イオン発生方式 | コロナ放電式 ステディーステートDC方式 |
|---|---|
| 電極 | 単結晶シリコン(交換可能) |
| クリーン度 | ISO Class 1(24V DC) ISO Class 2(24V AC) |
| 対応パージガス | クリーンドライエア 及びN2 |
| エア接続 | 4mm内径配管 |
| エア流量 | ～25LPM |
| 入力電圧 | 24V AC +/-5%, 50/60hz, 0.1A typ |
| 24V DC +/-5% 0.025A typ | |
| 除電時間 | 15LPMエアパージにて<15sec, 30cm距離 (スタンダードカートリッジ) |
| 15LPM エアパージにて <6sec, 30cm距離 (ジェットクロスチャンネルカートリッジ) |
|
| イオンバランス | +/-20v 15cm距離 |
| 連結可能数 | 14-1535トランス使用時 最大4台 4030コントローラ使用時 最大 15台 |
| 寸法 | 高さ33mm x 幅33mm x 長さ91mm 除くエア接続部 |
| 重量 | 108g |
