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拡張ISO Class1,10nm対応 バータイプイオナイザー AeroBarMP モデル5635
機能別[スタティックバー]
モデル5635 エアロバーMPイオナイザーは、先端半導体製造工程等100nm以下の微小パーティクル管理が必要な箇所の除電用途に開発された超低パーティクル対応製品です。
特長
- ワールドワイドにて無類の採用実績を有する単結晶シリコン電極は超低パーティクル特性と伴に電極材料によるメタル汚染リスクを回避
- 独自のMP(パルス変調)方式により、イオンを効率よくターゲットに運ぶ高い除電性能
- 100mm距離にても使用可能な小電位スイング特性及びバー長に渡り偏りの少ないイオンバランス
- インテリジェント制御回路によりイオン発生状態とイオンバランスを常時自動管理
- 1/4回転で脱着可能な交換式電極はメンテナンス工数の削減に寄与
- 電位スイングが非常に小さなMP方式の特徴により、セットアップが簡便化また、電位スイングの小ささが長期イオンバランスを管理基準内に保つことにも有効に作用
- 半導体前工程用EFEMに即した長さのバーを設定
- 24V DC駆動コントローラ内臓のコンパクト設計
- ワールドワイドにて高いレベルのサポートネットワークが利用可能
仕様
Model 5635 AeroBar MP| 入力電圧 | 24V DC +/-10% |
|---|---|
| 出力電圧 | 最大約13.5kv p-p 調整可能 |
| 設置距離 | 100mm～1000mm(エアパージ無し) |
| イオン発生方式 | コロナ放電方式 MP (パルス変調）方式 変調周波数 1 ～ 33 Hz |
| イオンバランス | 自動バランス調整方式 <+/-10V内 バー直下 位置による差異 <+/-10v (600 mm距離） |
| 電極 | 単結晶シリコン電極 交換可能 |
| パージガス | クリーンドライエア或いはN2 |
| 最大パージ圧 | 310Kpa |
| オゾン量 | <0.05ppm(24時間積算値) |
| 信号出力 | アラームIO オープンコレクタ出力 |
| 寸法 | 高さ78mm x 奥行34mm x 長さは下記 |
| 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 /1900/2050/2200/2350mm |
|
| 外装 | ABS樹脂 |
拡張ISO Class1,10nmとは？
拡張ISO Class1,10nmについて 微小パーティクル管理に対応するためION Systemsにて独自に定めたクリーン度の定義です。ISO14644-1は最小粒径100nmにて定義されています。拡張ISO Class1,10nmとはISO14644-1と同じ許容パーティクル数の算出式を用いており、その許容パーティクル数は10nm以上の粒径にて1200pc/m3(34 pc/ft3)となります
